東京電機大学 理工学部 理工学科 電子工学系
薄膜・表面工学研究室（大越研究室）は、人にやさしい薄膜形成と表面処理に取り組みます。
薄膜・表面工学研究室
主な研究テーマ
- ダイヤモンド状炭素（DLC: Diamond-like Carbon）のデバイス応用（生体親和性デバイス，バイオセンサ，歪センサ，ガスセンサ）
- 不純物ドープによるDLCの高機能化（電気特性，光学特性，生体親和性）
- プラズマ観察による物性評価システムの開発（プラズマCVD，大気圧プラズマ，機械学習）
- プラズマ処理による表面改質（シリコンゴム表面と接着剤との親和性）
- 生体適合性DLCの開発（放射光および中性子散乱を用いた構造解析）
- 生体適合性アルミナ薄膜の開発（タンパク質吸着性評価）他
表面処理
酸素プラズマ処理
酸素プラズマ処理はプラズマ化した酸素を照射して表面改質を行う処理です。表面の汚れを分解することで洗浄を行うことができます。また、親水性官能基が表面に付与されるため、親水性処理に有効です。
薄膜形成
ダイヤモンドライクカーボン（DLC: Diamond-like Carbon）
DLCはダイヤモンドとグラファイトの中間的な構造を持つ非晶質炭素です。高硬度、低摩擦性、低摩耗性、耐腐食性などの優れた特性を有しているため、切削ドリルや摺動摩耗機械などの分野で実用化されています。その他、生体適合性にも優れ、医療デバイスの表面処理技術として活用が期待されています。
アルミナ（Al2O3）
Al2O3はアルミニウムの両性酸化物です。一般の金属と比べて高硬度、耐摩耗性などの優れた特性を有しています。化学的安定性に優れており、体内で錆びたり溶ける心配がないため、生体材料として実用化されています。